Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: лаб. практикум [В. А. Юзова] (pdf) читать постранично

УДК 621.38(075)
ББК 32.85я73
Ю20
Электронный учебно-методический комплекс по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники» подготовлен в рамках реализации Программы развития федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Сибирский федеральный университет»
(СФУ) на 2007–2010 гг.
Рецензенты:
Красноярский краевой фонд науки;
Экспертная комиссия СФУ по подготовке учебно-методических комплексов дисциплин

Ю20

Юзова, В. А.
Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники
[Электронный ресурс] : лаб. практикум / В. А. Юзова, Г. Н. Шелованова. –
Электрон. дан. (4 Мб). – Красноярск : ИПК СФУ, 2009. – (Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники : УМКД № 1524/1092–2008 /
рук. творч. коллектива Г. Н. Шелованова). – 1 электрон. опт. диск (DVD). –
Систем. требования : Intel Pentium (или аналогичный процессор других производителей) 1 ГГц ; 512 Мб оперативной памяти ; 50 Мб свободного дискового
пространства ; привод DVD ; операционная система Microsoft Windows
XP SP 2 / Vista (32 бит) ; Adobe Reader 7.0 (или аналогичный продукт для чтения файлов формата pdf).
ISBN 978-5-7638-1686-0 (комплекса)
ISBN 978-5-7638-1755-3 (лабораторного практикума)
Номер гос. регистрации в ФГУП НТЦ «Информрегистр» 0320902505 (комплекса)
Настоящее издание является частью электронного учебно-методического комплекса по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», включающего учебную программу дисциплины, курс лекций, пособие по
курсовой работе, методические указания по самостоятельной работе, контрольноизмерительные материалы «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Банк тестовых заданий», наглядное пособие «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Презентационные материалы».
В лабораторном практикуме в соответствии с учебной программой дисциплины
приведены четыре лабораторные работы, изложены краткие теоретические сведения,
необходимые для подготовки и выполнения работ, даны описание технологического и
измерительного оборудования, задания и порядок их выполнения, контрольные вопросы.
Предназначен для студентов направления подготовки магистров 210100.68
«Электроника и микроэлектроника» укрупненной группы 210000 «Электроника, радиотехника и связь», а также может быть использован всеми интересующимися электроникой и наноэлектроникой.
© Сибирский федеральный университет, 2009
Рекомендовано к изданию Инновационно-методическим управлением СФУ
Редактор Л. И. Вейсова

Разработка и оформление электронного образовательного ресурса: Центр технологий электронного обучения Информационно-телекоммуникационного комплекса СФУ; лаборатория
по разработке мультимедийных электронных образовательных ресурсов при КрЦНИТ
Содержимое ресурса охраняется законом об авторском праве. Несанкционированное копирование и использование данного продукта запрещается. Встречающиеся названия программного обеспечения, изделий, устройств или систем могут являться зарегистрированными товарными знаками тех или иных фирм.

Подп. к использованию 30.11.2009
Объем 4 Мб
Красноярск: СФУ, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79

Оглавление
Введение ..................................................................... 6
1. Лабораторная работа № 1. ................................. 10
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ НИЗКОРАЗМЕРНОЙ
СРЕДЫ ДЛЯ СОЗДАНИЯ УСТРОЙСТВ
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ................................................ 10
1.1. Цель работы .......................................................................................... 10
1.2. Задачи лабораторной работы ............................................................ 10
1.3. Теоретические сведения ..................................................................... 11

1.3.1. Актуальность использования низкоразмерного кремния в
производстве изделий микро- и наноэлектроники ........................................... 11
1.3.2. Физические принципы создания низкоразмерного кремния ................ 14
1.3.3. Вольтамперные характеристики при формировании низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 18
1.3.4. Структурные модификации пористого кремния ...................................... 20
1.3.5. Электрохимические реакции в системе «кремний – электролит»......... 23
1.3.6. Электрохимические ячейки для формирования низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 24
1.3.7. Электролиты для процесса анодирования кремния............................... 26

1.4. Описание технологического и измерительного оборудования .. 27
1.5. Задание на выполнение лабораторной работы ............................ 29
1.6. Порядок выполнения лабораторной работы ................................. 30

1.6.1. Изучение физической сущности получения пористого кремния .......... 30
1.6.2. Подготовка образцов кремния .................................................................... 31
1.6.3. Приготовление электролита для процесса анодирования .................... 31
1.6.4. Подготовка электрохимической ячейки и ее подключение ................... 32
1.6.5. Анодирование кремниевого